图1：根据业内广为接受的术语以及所涉及的主要物理机制，提出的一系列不同层次的激光表面处理工艺。

虽然这些技术通常被称为激光微造型，从机械角度来看，这些工艺与激光打标息息相关，因为它们局限于对部件的表面处理，通常需要结合采用激光消融与熔融工艺。图1尝试着用行业广为接受的术语以及所涉及的主要物理机制，来对这种范围广泛的工艺进行分类。

近红外光纤激光器

光纤激光器为人广泛所知的优势，确保它们在图1所示的大多数应用中成为占主导地位的近红外激光光源选择方案。当然，脉冲光纤激光源凭借高平均功率（高达4kW），开启了激光清洁和激光脱漆的应用。此处所用的新型光纤激光器的脉冲持续时间范围为0.15～5ns、峰值功率可达0.5mW，每平方米的亮度＜2，在平均功率最高达30W的条件下，脉冲重复率超过1MHz。本文旨在增进对微米级激光功能的了解，这类激光用于通常被认为是难以采用标准红外波长进行打标的材料，如铜和玻璃等材料的表面微造型或打标。

激光微造型与激光打标分析

通过一定方式改变激光打标表面区域，使之与未打标区域形成视觉上的对照，这使激光标记变得有用。在此不仅列出了一些早期结果，还采用先进的分析手段对金属和玻璃表面的激光微造型工艺进行深入的特性描述和刻画。

笔式表面轮廓仪也许是量化表面形貌最有名、应用最广泛的技术，因此，选用了该技术对激光处理进行初步评估。表面形态学对更普遍的表面特性与形状进行定性、定量描述，成像技术在这里更为有用。因而，选用了共聚焦激光扫描显微镜的二维和三维图像。

图2： 利用高峰值功率、亚纳秒光纤激光器加工裸铝材料的反射效果。

先进的分光光度计被广泛应用于量化表面颜色。通过对从可见光谱上的多点表面上的反射光进行分析能够实现这一目标，无论是否包含高光元素，都可形成反映各表面特性的独特反射曲线。这些仪器也被广泛用于测量表面的L*值或表面颜色的深浅。现在，这种技术是量化激光对各种消费品的打标效用时必不可少的工具。这些反射曲线和L*值被用来量化高峰值功率、短脉冲型光纤激光器（图2）在铝、铜和玻璃这三种具有挑战性的材料上的效用。

铝材的激光表面处理或微造型

对于铝质材料来说，其自然氧化层具有吸湿性，且厚度会随时间增大。所以，去除这层粗糙的受污染的氧化层，以暴露下层铝材，可能足以形成充足的对比度。另一个比较复杂的因素是，下层铝材的熔融或消融程度会显著影响标记的外观。仔细调整激光器的参数，可以产生更为光亮的表面，以展现出对比度提高的熔融效果。通过使用~1mJ的脉冲能量，可以在铝材上形成色泽较深、氧化程度高的表面，但是，如果想要获得低的L*值，同时又能够获得坚固的、非易碎型的表面，使得标记的外观不会随着观察角度的变化而改变，则需要对工艺进行仔细的控制。提高消融水平以形成微粗糙表面，也可以获得颜色更深、吸收性较高、L*值较大的表面（图3）。所显示的表面尺寸均<10μm，表面粗糙度（Ra）远低于<5μm。

图3：用5ns、75μJ的激光器处理的深灰色铝材表面，放大倍数：200X。

从铝表面去除阳极化涂层是一种广泛使用的技术，相同的规则也适用于在基板上应用激光——熔融性强便意味着能够产生更具反射效果的表面。不管是裸铝材还是阳极化铝材，打标速度均达到1-2m/s的高水平。最近，已经开发出在特定阳极化涂层上的激光打标技术，使用低纳秒、亚纳秒光纤激光器可以获得<30的L*值，尽管其打标速度比上述方式要低得多。

图4：用0.15纳秒和1纳秒脉冲处理的 0.8mm厚的铜质材料的表面效果。

铜质材料的激光微造型或打标

对铜质材料进行激光抛光以形成对比是相对较为熟知的方法，但是，因为这种金属与生俱来具有的高反射率，要获得深色的标记通常会更具难度。IPG光子公司硅谷技术中心（SVTC）开发出了这类技术，可在铜质材料表面产生L* 值<30的深色表面。如图5所示，通过与抛光前的表面粗糙度对比，可以看出经激光处理表面的粗糙度差异（<1μmRa）。但表面结构更为复杂，表面区域得到了极大改善，从而形成了高吸收性表面。这从图4可以看出。

图5最右侧部分是未经激光处理的抛光区域，左侧则是激光处理过的区域。这些特征与铝质材料上形成的特征相比，要小一个数量级（图3）。所获得的表面结构支持了非线性、等离子控制过程的假设，而不是传统的热去除材料的过程。进一步的相关证据是，同样的激光参数可用于处理20μm厚的铜箔，而不会造成材料变形，尽管使用的是平均功率为28.5W的亚纳秒激光器。

图5：用150皮秒脉冲处理的铜质材料。

玻璃的激光微造型或打标

出乎意料的是，与用于铜质材料几乎相同的参数也可应用于无涂层硼硅酸盐玻璃上下层表面的打标。这进一步支持了有关非线性吸收是由于高峰值功率光纤激光器的影响而产生的假说。检查划片区，可以看到“龟裂”情况非常有限，裂纹<10μm，表面粗糙度<5μmRa。图6显示了低倍镜下的划线及非开裂状况。

图6：低倍镜下，处理过的铜质材料上的划线以及非开裂状况。

这个过程中最有趣的结果如图7所示。其中，玻璃表面的反射率可以通过改变扫描参数进行严密控制。

图7：经扫描速度为1–1.5m/s的150皮秒激光处理的无涂层硼硅酸盐玻璃的效果。

讨论及总结

我们探索了如何量化激光打标和微造型，并使用这些技术对铝材进行激光打标。我们还开发了对更具挑战性的铜材和无涂层玻璃表面进行打标的技术，它清楚表明，未来还将会有适用于范围更广泛的表面结构的工艺应用出现。

铜材之间或与其它金属之间的激光焊接一直是低功率热传导焊接领域的一项难题，这是因为同时存在固有的高反射率和扩散系数，以及不一致的原生表面氧化层。事实表明，这种深色打标技术在焊接铜时，可以提高一致性。作为正在进行的研究的一部分，通过激光束来改善和规范表面吸收性，这些精细构造也可以提高铜或铝与其它不同金属之间的结合。

在相关案例中，采用了同样的亚纳秒激光器对金属进行激光预处理，以便其随后可与透射性聚合物粘合在一起。激光清洁表面所具有的优势，例如因激光预处理导致的表面积增加以及局部的激光加热，促使特定金属-聚合物组合的结合可轻松达到基材的强度水平。

最后，使用传统激光扫描技术对光学表面的漫射或光散射能力是有保障的。正在考虑的应用是控制眩光，这反过来又使加工物体更容易为人眼所见。这里所展示的性能显著增强并且具有成本效益的光纤激光器的问世，使客户能够将激光打标从低成本应用转向附加值更高的打标和微造型应用领域。